Der Schlüssel zur kostengünstigen Produktion war schließlich die Einführung der automatisierten Messtechnik. Ursprünglich bezieht sich die Metrologie auf die Messung aller physikalischen Größen. In der Dünnschichtproduktion messen automatisierte Messsysteme verschiedene Parameter wie Dicke, Brechungsindex, elektrischen Widerstand und mechanische Spannung. Diese Systeme werden jedoch nicht nur zur Überwachung der physikalischen Materialeigenschaften eingesetzt, sondern auch zur Rückführung dieser Informationen in den Herstellungsprozess. Da viele der Dünnschichteigenschaften eine hohe Temperaturkonstanz erfordern, spielt das Wärmemanagement in der Testphase von Halbleitern eine wichtige Rolle. Die Forderung nach höherer Ausbeute und höherer Packungsdichte in Verbindung mit optischen oder elektrischen Hochgeschwindigkeitsmesssystemen stellt immer höhere Anforderungen an das Wärmemanagementsystem.

Nextreme™ Thermoelektrische Umlaufkühler

Der thermoelektrische Umlaufkühler NRC400 bietet automatisierten optischen Inspektionssystemen in der Halbleiterfertigung hohe Zuverlässigkeit und eine Temperaturregelgenauigkeit von ± 0,05 °C. Thermoelektrische Kühler mit Halbleitertechnologie verbessern die Leistung und reduzieren den Wartungsaufwand, wodurch die Gesamtbetriebskosten gesenkt werden.

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Thermoelektrische Chiller für Mess- und Inspektionssysteme in der Halbleiterfertigung

Aspekte für OEMs: Umlaufkühler für Mess- und Inspektionssysteme in der Halbleiterfertigung

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